NF-CMP-200

主に、IMD、STI、ILD、BPSG、コンタクタ、金属線など、8インチウェーハ製造のすべての平坦化プロセスに必要な機器に使用され、TSVやMEMSなどの新しい分野の平坦化プロセスをサポートします。

製品特徴：

1.機械全体の構造がコンパクトで、クリーンルームのスペースを節約します。

2.ウェーハの「ドライインとドライアウト」を実現できます。

3.高い信頼性

4.オンラインエンドポイント検出方法、リアルタイムプロセス制御システム。

5.制御ソフトウェアは完全に自主制御することが可能です。