NF-CMP-300
NF-CMP-300
产品描述：
满足12寸wafer 制造中所有复杂平坦化工艺需求。适用于5nm/7nm/14nm等逻辑制程和存储制程，覆盖STI/ILD/IMD, FinFET/Metal gate/W/ Cu等工艺。
产品特点：
1、全新高效的结构设计
2、先进的终点检测技术
3、工艺灵活性高
4、研磨头和研磨台对应,保证更好的工艺一致性
5、产出速率相对国际进口设备提升显著
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NF-CMP-200
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